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新プロセスへの取組み
レーザーソーとウェーハブレーカーでサファイヤ、GaN、SiC、ALN、Low-Kダイシング、Si等のテストカットから量産加工まで対応致します。
レーザーダイシング装置
(DFL7160)
レーザーダイシング後観察写真
実験用レーザー光源
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