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区分 |
プロセス |
名称 |
メーカー名 |
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生産設備 |
ダイシング |
半自動ダイシング |
株式会社ディスコ |
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マニュアルダイシング |
株式会社岡本工作機械製作所 |
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全自動ダイシング |
株式会社ディスコ |
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ウェーハマッサージャー |
自社開発 |
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自動ブレ-キング装置 |
自社開発 |
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半自動スピンナー |
株式会社ディスコ |
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炭酸ガスバブラー |
日本ガイシ株式会社 |
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貼り付け |
全自動ウェーハマウンター |
株式会社タカトリ |
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手動式ウェーハマウンター |
株式会社ディスコ |
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株式会社日東電工 |
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支持基盤貼り付け機 |
ミクロ技研株式会社 |
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薄型ウェーハ対応全自動マウンター |
自社開発 |
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ベーク炉 |
株式会社いすゞ |
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株式会社中央理研 |
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洗浄 |
全自動ペレット洗浄装置 |
株式会社丸和製作所 |
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有機ドラフト |
株式会社丸和製作所 |
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ダン産業株式会社 |
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酸ドラフト |
ダン産業株式会社 |
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スピンナー |
ミサカ株式会社 |
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リンサードライ |
株式会社ミウテック |
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塗布 |
スピンコーター |
ミサカ株式会社 |
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UV照射 |
半自動UV照射装置 |
リンテック株式会社 |
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全自動UV照射装置 |
リンテック株式会社 |
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治具詰め |
ウェーハ自動治具詰機 |
エムテック株式会社 |
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トレー洗浄機 |
エムテック株式会社 |
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梱包 |
バキュームシーラー |
シャープ株式会社 |
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スパッタ |
スパッタ |
株式会社芝浦製作所 |
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バックグラインダー |
全自動裏面研磨装置 |
株式会社ディスコ |
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マーク |
レーザーマーキング装置 |
GSIルモニクス |
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メッキ |
AUメッキ装置 |
EEJA |
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裏面研磨 |
ポリッシャー |
株式会社岡本工作機械製作所 |
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レジスト除去 |
O2アッシャー |
株式会社サムコインターナショナル |
検査機器 |
検査 |
実体顕微鏡 |
株式会社オリンパス |
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カールツァイス |
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金属顕微鏡 |
株式会社ニコン |
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カールツァイス |
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測定顕微鏡 |
株式会社ニコン |
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測定 |
レーザー顕微鏡 |
株式会社キーエンス |
付帯設備 |
全プロセス |
純水製造装置 |
栗田工業株式会社 |
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コンプレッサー |
株式会社日立製作所 |
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株式会社神戸製鋼所 |
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窒素タンク |
株式会社日本酸素 |
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ダイシング |
恒温槽供給装置 |
株式会社ディスコ |
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砒素回収装置 |
自社開発 |
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SI研磨回収装置 |
株式会社ノリタケカンパニーリミテド |
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スパッタ |
不活性ガス精製装置 |
株式会社巴商会 |
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裏面加工 |
冷却水供給装置 |
レビクール工業株式会社 |
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