ウェーハの裏面研削加工、ダイシング加工では、冷却と洗浄（切粉の除去）のために純水をかけながら加工を行うため、切粉の混ざった廃水が大量に排出されます。 弊社では、この廃水をセラミックフィルター（ファインセラミック製の精密濾過装置）を用いて濾過し、濾過された清浄な水を再利用することで、河川等に処理廃水を放流することなく地球環境にやさしい加工廃水のクローズドシステムを構築しています。
地球環境にやさしいセラミックフィルター特長としては・・・
- 丈夫で長寿命：目詰まりしたフィルターは，再生処理することで10年以上の長期間に渡り繰り返し使用できます。フィルターそのものが廃棄物になりません。
- 高い回収率：加工廃水の99．9％を回収・再利用できます。
- 無薬注処理：高度に細孔径が制御されたファインセラミックス製の精密濾過膜で濾過するため、凝集剤等の薬品を必要としません。
